“不稳定,没有稳定的光源,那会影响光刻品质,最终芯片品质也不能得到保障。”
不能得到质量保证的芯片,那就是残次品,甚至是废品,就不应该出厂。
“这位科学家提出的法子很好,不过……”秦蓁趴在桌上观察玻璃杯里的水,“想要稳定光源需要花费更多的时间。这么看来,摩尔定律金身都要被破个干净了。”
摩尔定律有过变更,拿最宽泛的来说,集成电路两年翻一倍。
如今都多少年来,困囿于193nm始终没什么突破。
金身从里到外破了个干净。
“这也没什么,三角形内角之和一百八十度,这是公认的事实,但如果是在曲面上,这个事实就成了谬论,人的认知总是在进步的,就像是社会和科学一样,螺旋曲折上升。”
秦蓁看着跟自己讲起了哲理的人笑了起来,她端起了放在那里的玻璃杯,里面是一杯凉白开。
“师兄,你说我要是能帮摩尔先生重塑金身,他是不是得感谢我?”
“什么?”
沈航放下手里的杂志看去,只见秦蓁晃动着玻璃杯,透过双重玻璃他几乎看不清秦蓁脸上的神色,但能听得出,她的声音中带着笑意,“我有法子突破193nm,甚至直接越过157nm。”
沈航蓦的站起身来,居高临下的看着秦蓁,他听到自己声音都变了几分,“真的?”
“骗你干嘛?”秦蓁晃动水杯,“你觉得这水怎么样?”
水?
沈航一时间没能明白过来,他甚至傻乎乎的接过水杯喝了一口,“没放糖。”
秦蓁被他这话逗乐了,“好啦,知道你喜欢吃甜的,等解决了这个问题我请你吃糖醋鱼、糖醋里脊总行了吧?你先回答我一个问题。”
沈航神色凝重,“你说。”他觉得自己声音紧巴巴的。
“咱们默认的,光在空气中折射率为1对吧?”
“嗯。”
“那在水中呢?”
“水作为介质,折射率是1.33。”这是初中物理的内容。
沈航忽的明白过来,“你的意思是,我们用水做介质,控制光的波长?”
他的声音带着几分尖锐,一双眼睛却是充了血。
对面秦蓁气定神闲,“对呀,有谁规定不能用水吗?我说了,我肯定能超越193nm,没骗你吧?”
作者有话要说: 提出以水为介质的shi刻法的是ww的林本坚大佬,不过一开始也没被业内接受就是了,四处碰壁直到和A S M L合作。
第202章 从芯开始42
光源问题困扰整个产业十多年。
甚至以英特尔、IBM为首的美国企业成立了EUV LLC联盟, 试图通过研究极紫外光,越过193nm这一关。
尼康则是坚持循序渐进,专注于研究157nm的F2激光, 稳健发展。
只不过研究了这么些年,都没进展。
没人知道前景在何处。
当初弗兰克给秦蓁画的也不过是一张大饼而已,甚至希望借助于秦蓁的能力,看能否在极紫外光的研究上有所突破。
秦蓁婉拒了荷兰那边, 并且以此为要挟,换的尼康和佳能帮自己采购一些机床设备和零部件。
她当然不会去当别人家的打工人,给别人打工有什么好, 自己创业不好吗?
她有那么多志同道合的小伙伴呢。
简单的物理学知识, 就可以实现降低波长这一宏伟目标。
沈航觉得这就像是一场梦。
“是啊, 我们在透镜和晶圆之间加上水。”
加上水就行了。
过去几十年,光源从来都是直接从透镜到硅片,没人会想着改变这之间的介质——空气。
秦蓁的办法, 可真是……
“你怎么想到的?”
“那就很久之前了。”
很久之前又是什么时候?
什么引发了秦蓁的灵感呢?
沈航有很多问题, 但现在并不是提问的时候。
加一层水通过改变介质来变化波长,那么如何稳定这一汪水呢?
这又是需要技术攻关的内容。
“等成了,我请你去楼外楼, 想吃什么都行。”
秦蓁有些不好意思起来,“不是说我请客的嘛, 怎么好意思让师兄你破费呢。不过你提出了, 可别后悔就行。”
有什么好后悔的?
对于一个在硅谷生活多年的人来说,没什么比技术上的突破更让人振奋的了。
别说请秦蓁去楼外楼吃顿大餐,只要能解决这一难题,就是请秦蓁出国旅游都没问题。
大年初三,春节假期还没有结束, 秦蓁和沈航已经去车间里忙了起来。
此前,秦蓁心中无数次的构思,但真的挪到机器上那就是一件万分困难的事情